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MEMS 口气气体传感器

MEMS口气气体传感器利用MEMS工艺在Si基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当环境空气中有被检测气体存在时传感器电导率发生变化，该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。
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产品详情

MEMS口气气体传感器利用MEMS工艺在Si基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当环境空气中有被检测气体存在时传感器电导率发生变化，该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。

 

产品优势

1、驱动电路简单、稳定性好、寿命长

2、尺寸小、功耗低、灵敏度高、响应恢复快

3、采用MEMS工艺，结构坚固，对硫化氢、丙酮、酒精灵敏度高

 

主要应用

技术指标

产品类型MEMS口气气体传感器
标准封装陶瓷封装
检测气体硫化氢、酒精、丙酮等
检测浓度0.5ppm-50ppm(H2S)
标准电路条件回路电压Vc≤24V  DC
加热电压VH2.5V±0.1V ACorDC
负载电阻RL可调
标准测试条件下
气敏元件特性		加热电阻RH80Ω±20Ω（室温）
加热功耗PH≤50mW
敏感体表面电阻Rs10KΩ-100KΩ(in 5ppm H2S)
灵敏度SRo(in air)/Rs(5ppm H2S)≥2
标准测试条件温度、湿度20℃±2℃；55%RH±5%RH
标准测试电路Vc:5.0V±0.1V；      VH:2.5V±0.1V

 

*具体参数请以规格书为准，如需获取更多技术信息，请联系：0371-86630636

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