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MEMS 硫化氢气体传感器

MEMS硫化氢气体传感器利用MEMS工艺的Si基微热板和在洁净空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料组成。当环境空气中有被检测气体存在时，传感器的电导率发生变化。该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。
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产品详情

MEMS硫化氢气体传感器利用MEMS工艺的Si基微热板和在洁净空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料组成。当环境空气中有被检测气体存在时，传感器的电导率发生变化。该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。

产品优势

1、驱动电路简单、稳定性好、寿命长

2、尺寸小、功耗低、灵敏度高、响应恢复快

3、采用MEMS工艺，结构坚固，对硫化氢灵敏度高

 

主要应用

技术指标

产品类型MEMS硫化氢气体传感器
标准封装陶瓷封装
检测气体硫化氢、苯等
检测浓度0.5ppm～50ppm(H2S)
标准电路条件回路电压VC≤24V DC
加热电压VH1.9V±0.1V AC or DC
负载电阻RL可调
标准测试条件下气敏元件特性加热电阻RH80Ω±20Ω（室温）
加热功耗PH≤40mW
敏感体
电 阻		RS1KΩ～30KΩ(in 50ppmH2S
灵敏度SR0(in air)/Rs(in 50ppmH2S)≥3
浓度斜率α≤0.6(R200ppm/R50ppmH2S)
标准测试条件温度、湿度20℃±2℃；55%RH±5%RH
标准测试电路VC:5.0V±0.1V；
  VH :1.9V±0.1V

 

*具体参数请以规格书为准，如需获取更多技术信息，请联系：0371-86630636

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